Energiekettensystem für Reinraumanwendungen

Mit ein­er Vari­ante der C6-Rein­raumen­ergiekette bietet igus eine Lösung mit speziellem Führungssys­tem, die den Ein­satz kom­pak­ter und lan­glebiger Energieket­ten für die Energie- und Daten­führung auch auf sehr lan­gen Ver­fahrwe­gen in Rein­raumpro­duk­tio­nen ermöglicht. Typ­is­che Anwen­dungs­bere­iche sind Ver­pack­ung, Plot­ter, Medi­z­in­tech­nik, Elek­tro­fer­ti­gung, Hal­blei­t­erindus­trie, FPD Pro­duk­tion, Mikroelek­tron­ik und Panel-Roboter.

Die Rein­raum­lö­sung für Ver­fahrwege bis zu 30 Metern bietet hier entschei­dende Vorteile:

• Abriebarm und ISO-zer­ti­fiziert durch das Fraun­hofer IPA
• Zuver­läs­sig bei lan­gen Verfahrwegen
• Mod­u­lar und wartungsarm – ide­al für den Ein­satz in hochau­toma­tisierten Reinraumumgebungen
• Automa­tisiert­er Wafer-Trans­port in Reinräumen

In mod­er­nen Hal­bleit­er­fab­riken durch­laufen Siliz­iumwafer zahlre­iche Prozesss­chritte – von der Lith­o­grafie über das Ätzen bis hin zur Dotierung und Met­allisierung. Diese Prozesse find­en in unter­schiedlichen Anla­gen statt, die oft räum­lich weit voneinan­der ent­fer­nt sind. Auf­grund der stren­gen Anforderun­gen an Sauberkeit und Par­tikel­frei­heit ist ein manueller Trans­port inner­halb des Rein­raums nicht prak­tik­a­bel. Stattdessen übernehmen automa­tisierte Mate­ri­al­trans­port­sys­teme (AMHS – Auto­mat­ed Mate­r­i­al Han­dling Sys­tems) den sicheren und effizien­ten Trans­port der Wafer-Kas­set­ten (FOUPs – Front Open­ing Uni­fied Pods) über lange Streck­en. Eine bewährte Lösung ist der Over­head Hoist Trans­port (OHT) – ein schienenge­führtes Trans­port­sys­tem, das die FOUPs über Kopf bewegt und dabei Rein­raum­flächen opti­mal nutzt.

Neben dem Trans­port ist auch die Lagerung in soge­nan­nten Stock­ern extrem wichtig. Diese Sys­teme stellen hohe Anforderun­gen an die Energie- und Daten­ver­sorgung. Sie benöti­gen zuver­läs­sige Energieführun­gen für: die Stromver­sorgung der OHT-Ein­heit­en, die Datenüber­tra­gung (zum Beispiel Eth­er­net, Sen­sorik), die sichere Kabelführung in dynamis­chen und oft beengten Reinraumumgebungen.

Abriebfes­tigkeit ist der entschei­dende Para­me­ter bei Energieket­ten-Anwen­dun­gen im Rein­raum. Die Energiekette der Serie C6 set­zt hier Maßstäbe. Der Abrieb ist kaum mess­bar. Bess­er geht es kaum: Auch bei hoher Beanspruchung lässt sich bei der neuen Rein­raum-Energiekette C6 kein Abrieb messen. Weit­ere Vorteile sind ein extrem leis­er Lauf und eine ein­fache Montage.

Ab sofort auch in der Innen­höhe 22 Mil­lime­ter. Opti­miert mit voll­stetigem Design im Außen­ra­dius und als Stan­dard mit Öff­nungsste­gen plus Innenaufteilung aus iglidur J, dem besten Gleit­part­ner für jedes Leitungs­man­tel- oder Schlauch­ma­te­r­i­al . Außer­dem sind im Stan­dard die Seit­en­teile aus tri­bo-opti­miertem Low-Wear ESD-Mate­r­i­al für ableit­fähige Seit­en­bän­der. Des Weit­eren lässt sich durch das neue Mon­tage Tool die Kette jet­zt noch ein­facher­er und schneller öffnen.